Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах / Российская акад. наук, Сибирское отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова, Ин-т неорг.химии им. А. В. Николаева, Ин-т катализа им. Г. К. Борескова, Ин-т автоматики и электрометрии, Ин-т геологии и минералогии им. В. С. Соболева.

Նյութի տեսակ։ Տեքստ