Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособ. / С.А. Гаврилов, А.Н. Белов.
Նյութի տեսակ։ ՏեքստԼեզու: Ռուսերեն Մատենաշար։ Основы наукՀրատարակման մանրամասներ։ Москва : Высшее образование, 2009.Նկարագրություն։ 257 сISBN:- 978-5-9692-0304-4
Նյութի տեսակ | Ընթացիկ գրադարան | Հավաքածու | Դարակային համար | Վիճակ | Նշումներ | Վերադարձի ամսաթիվ | Շտրիխ կոդ | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Book | Scientific Technical Library | Գրքային հավաքածու | 621.35 Г 124 (Դիտման դարակ(Բացվում է ներքևում)) | Հասանելի | One Hour Loan | ST0036442 |
Դիտման Scientific Technical Library դարակ, Հավաքածու։ Գրքային հավաքածու Փակիր դարակի դիտակը (Թաքցնում է դարակի դիտակը)
[Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии].
Библиогр.: с. 256 - 257
Այս վերնագրի համար չկան մեկնաբանություններ։