Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники :
Гаврилов, Сергей Александрович.
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособ. / С.А. Гаврилов, А.Н. Белов. - Москва : Высшее образование, 2009. - 257 с. - Основы наук .
Библиогр.: с. 256 - 257
[Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии].
978-5-9692-0304-4
Электрохимическое производство
электрохимические процессы нанотехнология электрохимическая кинетика
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособ. / С.А. Гаврилов, А.Н. Белов. - Москва : Высшее образование, 2009. - 257 с. - Основы наук .
Библиогр.: с. 256 - 257
[Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии].
978-5-9692-0304-4
Электрохимическое производство
электрохимические процессы нанотехнология электрохимическая кинетика