Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ : (Գրառման հմ. 1081227)
[ դիտիր պարզ ]
| 000 -LEADER | |
|---|---|
| fixed length control field | 01334nam a2200217 a 4500 |
| 001 - CONTROL NUMBER | |
| control field | 001072812 |
| 003 - CONTROL NUMBER IDENTIFIER | |
| control field | AM-YeNLA |
| 005 - DATE AND TIME OF LATEST TRANSACTION | |
| control field | 20210524152132.0 |
| 008 - FIXED-LENGTH DATA ELEMENTS--GENERAL INFORMATION | |
| fixed length control field | 150415s1988 r 000 0 rus d |
| 041 0# - LANGUAGE CODE | |
| Language code of text/sound track or separate title | rus |
| 100 1# - MAIN ENTRY--PERSONAL NAME | |
| Personal name | Борисов, Юрий Владимирович |
| 245 10 - TITLE STATEMENT | |
| Title | Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ : |
| Remainder of title | Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.13 / |
| Statement of responsibility, etc. | МВССО РСФСР. MATИ им. К.Э. Циолковского. |
| 260 ## - PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC. | |
| Place of publication, distribution, etc. | Москва , |
| Date of publication, distribution, etc. | 1988. |
| 300 ## - PHYSICAL DESCRIPTION | |
| Extent | 19 с. |
| 502 ## - DISSERTATION NOTE | |
| Dissertation note | Науч. рук.` В.Н Черняев |
| 504 ## - BIBLIOGRAPHY, ETC. NOTE | |
| Bibliography, etc. note | Список лит. с. 17-19 |
| 650 14 - SUBJECT ADDED ENTRY--TOPICAL TERM | |
| Topical term or geographic name entry element | Технология производства устройств радиотехники и связи |
| 655 #7 - INDEX TERM--GENRE/FORM | |
| Genre/form data or focus term | Thesis |
| 9 (RLIN) | 144282 |
| 710 2# - ADDED ENTRY--CORPORATE NAME | |
| Corporate name or jurisdiction name as entry element | Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР |
| Subordinate unit | Московский Авиационный технологический институт им. К.Э. Циолковского |
| 942 ## - ADDED ENTRY ELEMENTS (KOHA) | |
| Koha item type | Dissertation, Thesis |
| Withdrawn status | Lost status | Damaged status | Not for loan | Collection code | Home library | Current library | Date acquired | Full call number | Barcode | Date last seen | Price effective from | Koha item type | Public note |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ատենախոսությունների և սեղմագրերի ընթերցասրահ | Engineering University Library | Engineering University Library | 12/05/2017 | 621.384.5(043.3) Б-82 | EU0395720 | 12/05/2017 | 12/05/2017 | Dissertation, Thesis | One Hour Loan |