Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Борисов, Юрий Владимирович

Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ : Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.13 / МВССО РСФСР. MATИ им. К.Э. Циолковского. - Москва , 1988. - 19 с.

Науч. рук.` В.Н Черняев

Список лит. с. 17-19

Subjects--Topical Terms:
Технология производства устройств радиотехники и связи

Index Terms--Genre/Form:
Thesis