Проекционная оптическая фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем: Обзоры по электронной технике /
Глазштейн, Л.Я.
Проекционная оптическая фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем: Обзоры по электронной технике / Л.Я. Глазштейн, Ф.П. Пресс; Ред. А.В. Панюшкин; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : Институт "Электроника", 1970. - 106 с. ил. - Полупроводниковые приборы вып. 2(167) .
Проекционная оптическая фотолитография
Проекционная оптическая фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем: Обзоры по электронной технике / Л.Я. Глазштейн, Ф.П. Пресс; Ред. А.В. Панюшкин; Министерство электронной промышленности СССР. - Москва : Институт "Электроника", 1970. - 106 с. ил. - Полупроводниковые приборы вып. 2(167) .
Проекционная оптическая фотолитография