000 00999nam a2200229 u 4500
001 000123973
005 20230827115838.0
008 950417s1986 ||||||||||||||||||||rus d
020 _c1.60
040 _aAM, AiYeEPHG, 99/04/22
100 1 _aЕфимов, Иван Ефимович
245 1 0 _aМикроэлектроника :
_bФизические и технологические основы, надежность : Учебное пособие /
_cИ Е. Ефимов, И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов.
250 _a2-е изд., перераб. и доп.
260 _aМосква :
_bВысш. шк,
_c1986.
300 _a463,[1] с. :
_bил. ;
_c22 см.
504 _aБиблиогр.: с. 458
555 0 _aПредм. указ.: с. 459 - 461
650 1 4 _aМикроэлектроника - Учебники и пособия
700 1 _aКозырь, Иван Яковлевич
700 1 _aГорбунов, Юрий Иванович
999 _c98103
_d98103
942 _cBK