| 000 | 00936nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 001109017 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190508153722.0 | ||
| 008 | 151028s1976 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 111 | 2 |
_aМатериалы Всесоюзной научно-технической конференции _c(Москва; _d1975) |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aЭлектронная литография и ее применение в микроэлектронике : _b(Материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 23-24 октября 1975 г., Москва) / _cПод ред. Л.А. Красовская. |
| 260 |
_aМосква : _bЭлектроника, _c1976. |
||
| 300 | _a53 с. | ||
| 440 | 0 |
_aМикроэлектроника _v1(53) |
|
| 653 | 0 | _aМикроэлектроника | |
| 700 | 1 |
_aКрасовская, Л.А. _eред. _4edt |
|
| 999 |
_c980060 _d980060 |
||