000 01051nam a2200205 a 4500
001 001084000
003 AM-YeNLA
005 20190508152411.0
008 150604s1975 ru 000 0 rus d
040 _aAM-YeHGA
041 0 _arus
100 1 _aГеллер, Исаак Хаимович
245 1 0 _aТехнология производства полупроводниковых элементов :
_b(Конспект лекций) /
_cИ.Х. Геллер; Ред. А.Н. Подмарьков; Моск. энерг. ин-т. Кафедра электротехн. материалов и кабелей.
260 _aМосква :
_bМЭИ,
_c1975.
300 _aчасть.
505 1 0 _gЧ. 1 (1975, 122 с., ил.)
650 1 4 _aПолупроводниковые приборы - Технология
700 1 _aПодмарьков, А.Н.
_eред.
_4edt
710 2 _aМосковский энергетический институт
_bКафедра электротехнических материалов и кабелей
999 _c961495
_d961495