| 000 | 00862nam a2200169 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 001040054 | ||
| 005 | 20170511093608.0 | ||
| 008 | 141009s1980 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aАктивируемые процессы технологии микроэлектроники : _bСборник научных трудов / _cМосковский ин-т электронной техники; Отв. ред.: Ю.Д. Чистяков. |
| 260 | 0 |
_aТаганрог : _bТаганрогского радиотехнического ин-та , _c1980. |
|
| 300 | _a124 с. | ||
| 650 | 4 | _aМикроэлектронные схемы - Производство - Сборники | |
| 700 | 1 | 0 |
_aЧистяков, Ю.Д. _eред. _4edt |
| 710 | 2 | _aМосковский ин-т электронной техники | |
| 999 |
_c925260 _d925260 |
||