000 00915nam a2200169 a 4500
001 001039765
005 20230904093959.0
008 141007s1975 ||| r 000 0 rus d
040 _aAM-YeHGA
041 0 _arus
100 1 _aКолобов, Николай Афанасьевич
245 1 0 _aКонспект лекций "Технология производства полупроводниковых и электровакуумных приборов" :
_bУчебное пособие /
_cН.А. Колобов.
260 _aМосква :
_bБ. и.,
_c1975.
300 _aчасть.
505 0 _gЧ. 1 (1975, 127 с.)
_iТехнология получения и обработки основных материалов полупроводникового производства
653 0 _aПолупроводниковые и электровакуумные приборы - Учебники
999 _c925049
_d925049