000			01327-am-a2200241-a-4500
001			000115988
003			AM-YeNLA
005			20230827111212.0
008			950417s1988 xxu 000 0 rus u
020			_a5-12-009333-7 _c2.20
040			_aAM, AiYeEPHG, :1/04/16
100	1	0	_aСтепанов, Аркадий Евгеньевич
245	1	0	_aМатематическое моделирование процессов выращивания кристаллических полупроводниковых материалов / _cА.Е. Степанов, Л.Г. Кириллова ; АН УССР, Ин-т пробл. моделирования в энергетике.
260	0		_aКиев : _bНаукова думка , _c1988.
300			_a181,[3] с. : _bи ; _c. _c20 см.
500			_aամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1988
500			_aայլ
500			_aБиблиогр.: с. 176-182 (130 назв.)
650		4	_aПолупроводники - Кристаллы - Получение
700	1		_aКириллова, Лариса Генриховна
710	2		_aИн-т проблем моделирования в энергетике АН Украинской ССР
999			_c90678 _d90678
942			_cBK