| 000 | 01024nam a2200169 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000972468 | ||
| 005 | 20170508193153.0 | ||
| 008 | 130702s1970 xx r 000 0 rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aПолучение тонких пленок методом катодного распыления : _bОтечественная и зарубежная литература за 1966-1970 (май) гг. Тематические указатели литературы / _cСост. Т.Н. Протопопова; Мин. электр. промышл. СССР. |
| 260 |
_aБ. м. : _bЭлектроника, _c1970. |
||
| 300 |
_a27 с. ; _c22 см. |
||
| 440 | 0 |
_aСерия: Технология и организация производства _vВып. 11(131) |
|
| 650 | 1 | 4 | _aОтраслевая и тематическая библиография |
| 700 | 1 |
_aПротопопова, Т.Н. _eсост. _4com |
|
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c868243 _d868243 |
||