| 000 | 01137nam a2200181 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000968982 | ||
| 005 | 20230913134201.0 | ||
| 008 | 130618s1975 ru r 000 0 rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 |
_aИжмякова, Л.Ф. _eсост. _4com |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aМеталлические пленки в производстве полупроводниковых приборов : _bОтечественная и иностранная литература за 1969-1974 гг. (369 назв.) / _cСост.: Л.Ф. Ижмякова, В.В. Щеглова; Ред. В.В. Щеглова; М-во электронной пром-сти СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1975. |
||
| 300 |
_a86 с. ; _c22 см. |
||
| 440 | 0 |
_aТематические указатели литературы _pСерия: Материалы _vВып. 3(137) |
|
| 650 | 1 | 4 | _aОтраслевая и тематическая библиография |
| 700 | 1 |
_aЩеглова, В.В. _eсост., ред. _4com _4edt |
|
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c865143 _d865143 |
||