| 000 | 01080nam a2200181 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000968091 | ||
| 005 | 20230913134200.0 | ||
| 008 | 130612s1975 ru r 000 0 rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 |
_aДубравина, Анна Васильевна _eсост. _4com |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aНизкотемпературная плазма и ее применение в производстве электронных приборов : _bТематические указатели литературы / _cСост. А.В. Дубравина; Мин-во электронной промышл. СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1975. |
||
| 300 |
_a42 с. ; _c22 см. |
||
| 440 | 0 |
_aТехнология, организация производства и оборудование _vВып. 7(136) |
|
| 504 | _aБиблиогр. в конце кн. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aОтраслевая и тематическая библиография |
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c864332 _d864332 |
||