| 000 | 00717-am-a2200181-a-4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000108267 | ||
| 005 | 20230827102711.0 | ||
| 008 | 990202s1970 xxu 000 0 rus u | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 19990202 | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aКристаллизация тонких пленок / _cИЭ АН УзССР ; Отв. ред. У.А. Арифов. |
| 260 |
_aТашкент : _bФан , _c1970. |
||
| 300 |
_a216 с. : _bрис. |
||
| 504 | _aБиблиогр. в конце глав | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПолучение тонких слоев, тонких пленок |
| 700 | 1 |
_aАрифов, У.А. _eред. _4edt |
|
| 710 | 2 | _aИнститут электроники АН Узбекской ССР | |
| 999 |
_c83832 _d83832 |
||
| 942 | _cBK | ||