000 00871-am-a2200169-a-4500
001 YSU0090382
005 20230827101421.0
008 990616s1983 xxu 000 0 rus u
040 _aAM, AiYeEPHG, 99/06/12
245 1 0 _aКонструирование и технология микроэлектронной аппаратуры :
_bСборник научных трудов /
_cМ-во выс. и сред. спец. обр. СССР. Моск. ин-т электрон. техники ; Ред. Л.А. Коледов
260 _aМосква :
_bИзд-во Московского ин-та электрон. техники,
_c1983.
300 _a100 с.
650 4 _aМикроэлектронная аппаратура
700 1 0 _aКоледов, Л.А.
_4edt
710 2 _aМосковский ин-т электронной техники
999 _c81559
_d81559
942 _cBK