| 000 | 00823nam a2200181 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000844109 | ||
| 005 | 20170507223336.0 | ||
| 008 | 111107s1973 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aРубцова, Нина Николаевна | |
| 245 | 1 | 0 |
_aОсновные проблемы современной фотолитографии : _b(Аналитический обзор) / _cИ.Н. Рубцова; М-во электр. промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЭлектроника, _c1973. |
||
| 300 |
_a64 с. : _bил. |
||
| 440 | 0 |
_aОбзоры по электронной технике. Сер. полупроводниковые приборы _v3(98) |
|
| 504 | _aБиблиогр.: с. 57-64 | ||
| 653 | 0 | _aФотолитография | |
| 999 |
_c748447 _d748447 |
||