000 00981nam a2200193 a 4500
001 000843541
005 20170507223243.0
008 020227s1979 ru r 000 0 rus d
040 _aAM-YeHGA
041 0 _arus
245 0 0 _a"Технология, проектирование и применение микроэлектронной аппаратуры" :
_bСборник научных трудов /
_cМоск. ин-т электрон. техники; [Научн. ред. Л. А. Коледов].
246 4 _aСборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
260 _aМосква :
_bМИЭТ,
_c1979.
300 _a234 с. :
_bил. ;
_c20 см.
504 _aБиблиогр. в конце работ
653 0 _aМикроэлектроника - Сборники
700 1 _aКоледов, Л.А
_eред.
_4edt
710 2 _aМосковский институт электронной техники
999 _c747884
_d747884