000			00960nam a2200181 a 4500
001			000843367
005			20170507223229.0
008			111103s1981 ru r 000 0 rus d
040			_aAM-YeHGA
041	0		_arus
245	0	0	_aФизические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике : _bСборник научных трудов / _cМоск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Блинов И. Г. (отв. ред.) и др.].
260			_aМосква : _bМИЭТ, _c1981.
300			_a151 с. : _bил.
504			_aБиблиогр. в конце работ
653	0		_aЭлектронная технология - Сборники
700	1		_aБлинов, Иван Григорьевич _eред. _4edt
710	2		_aМосковский институт электронной техники
999			_c747713 _d747713