000			00833nam a2200181 a 4500
001			000842998
005			20170507223155.0
008			111102s1982 ru r 000 0 rus d
040			_aAM-YeHGA
041	0		_arus
245	0	0	_aФизика микроэлектронных приборов : _bСборник научных трудов / _cМоск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Т. Д. Шермергор (отв. ред. ) и др.].
260			_aМосква : _bМИЭТ, _c1982.
300			_a93 с. : _bил.
504			_aБиблиогр. в конце ст.
653	0		_aМикроэлектроника - Физические основы
700	1		_aШермергор, Т. Д. _eред. _4ред.
710	2		_aМосковский институт электронной техники
999			_c747350 _d747350