| 000 | 01111nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000842996 | ||
| 005 | 20170507223155.0 | ||
| 008 | 111102s19821983ru r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aАвтоматизация производственных процессов в микроэлектронике : _bСборник научных трудов / _cМоск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: И. Г. Блинов (гл. ред.) и др.]. |
| 260 |
_aМосква : _bМИЭТ, _c1982 (вып. дан. 1983). |
||
| 300 |
_a140 с. : _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 653 | 0 | _aМикроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация | |
| 653 | 0 | _aАвтоматизация - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство | |
| 700 | 1 |
_aБлинов, Иван Григорьевич _eред. _4edt |
|
| 710 | 2 | _aМосковский институт электронной техники | |
| 999 |
_c747348 _d747348 |
||