| 000 | 01151nam a2200253 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000813899 | ||
| 005 | 20170507214926.0 | ||
| 008 | 110620s2010 ||| r 000 0 rus d | ||
| 020 | _a978-5-9963-0032-7 | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aГалперин, Вячеслав Александрович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПроцессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях / : _bУчебное пособие / _cВ. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. |
| 260 |
_aМосква : _bБином. Лаб. знаний, _c2010. |
||
| 300 |
_a283 с. : _bил., табл. |
||
| 440 | 0 | _aНанотехнологии | |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 275-280 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aРадиоэлектроника |
| 653 | 0 | _aМикроэлектроника | |
| 653 | _aНанотехнологии | ||
| 700 | 1 | _aДанилкин, Евгений Владимирович | |
| 700 | 1 | _aМочалов, Алексей Иванович | |
| 700 | 1 |
_aТимошенко, С.П. _eред. _4edt |
|
| 999 |
_c719344 _d719344 |
||