| 000 | 00804nam a2200205 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000084935 | ||
| 005 | 20230826221911.0 | ||
| 008 | 950417s1990 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 020 | _a5-7855-0192-9 | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 19981102 | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aДефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / _cФ.Ф. Комаров, А.П. Новиков, В.С. Соловьев, С.Ю. Ширяев. |
| 260 |
_aМинск : _bУниверситетское , _c1990. |
||
| 300 |
_a318,[1] с. _bил. ; _c22 см. |
||
| 653 | 1 | _aКремний - Дефекты | |
| 700 | 1 | _aКомаров, Фадей Фадеевич | |
| 700 | 1 |
_aНовиков, А.П. _9275025 |
|
| 700 | 1 | _aШиряев, С.Ю. | |
| 700 | 1 | _aСоловьев, В.С. | |
| 999 |
_c62880 _d62880 |
||
| 942 | _cBK | ||