000 01118-am-a2200217-a-4500
001 000083608
005 20230826211914.0
008 000209s1987 xxu 000 0 rus u
020 _c2.30
040 _aAM, AiYeEPHG, :0/02/09
100 1 0 _aКопецкий, Чеслав Васильевич
245 1 0 _aГраницы зерен в чистх материалах /
_cЧ.В. Копецкий, А.Н.Орлов, Л.К. Фионова ; Отв. ред. Л.Г. Орлов ; АН СССР. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов.
260 _aМосква :
_bНаука ,
_c1987.
300 _a160 с.
650 4 _aХимическая технология
700 1 _aОрлов, Алексей Николаевич
700 1 _aФионов, Людмила Кузьминична
700 1 _aОрлов, Алексей Николаевич
_4edt
710 2 _aИн-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
999 _c61661
_d61661
942 _cBK