000 | 01118-am-a2200217-a-4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000083608 | ||
005 | 20230826211914.0 | ||
008 | 000209s1987 xxu 000 0 rus u | ||
020 | _c2.30 | ||
040 | _aAM, AiYeEPHG, :0/02/09 | ||
100 | 1 | 0 | _aКопецкий, Чеслав Васильевич |
245 | 1 | 0 |
_aГраницы зерен в чистх материалах / _cЧ.В. Копецкий, А.Н.Орлов, Л.К. Фионова ; Отв. ред. Л.Г. Орлов ; АН СССР. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. |
260 |
_aМосква : _bНаука , _c1987. |
||
300 | _a160 с. | ||
650 | 4 | _aХимическая технология | |
700 | 1 | _aОрлов, Алексей Николаевич | |
700 | 1 | _aФионов, Людмила Кузьминична | |
700 | 1 |
_aОрлов, Алексей Николаевич _4edt |
|
710 | 2 | _aИн-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР | |
999 |
_c61661 _d61661 |
||
942 | _cBK |