000			01087nam a2200193 a 4500
001			000666045
005			20170507102033.0
008			090611s1985 ru r 000 0 rus d
040			_aAM-YeHGA
041	0		_arus
245	0	0	_aМоделирование и расчет элементов и устройств технологического оборудования микроэлектроники : _bСборник научных трудов / _cМоск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: И. Г. Блинов (гл. ред.) и др.].
260			_aМосква : _bМИЭТ, _c1985 _g1986
300			_a119 с. : _bил. ; _c20 см.
504			_aБиблиогр. в конце ст.
653	0		_aЭлектронная промышленность, предприятия - Оборудование
653	0		_aМикроэлектронные схемы интегральные - Производство
700	1		_aБлинов, И.Г _eред _4edt
710	2		_aМосковский институт электронной техники
999			_c582484 _d582484