| 000 | 01324nam a2200229 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000661947 | ||
| 005 | 20170507101415.0 | ||
| 008 | 090529s1969 ru |||||r|||||000|0|rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aЩеглова, Валентина Викторовна. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aЗащитные пленки в производстве полупроводниковых приборов : _b(краткий обзор по материалам отечественной и зарубежной печати за 1968 г.) / _cВ.В. Щеглова; М-во электронной промышленности СССР, ЦНИИ "Электроника". |
| 260 |
_aМосква : _bИзд-во ЦНИИ "Электроника", _c1969. |
||
| 300 | _a50 с. | ||
| 440 | 0 | _aПолупроводниковые приборы | |
| 504 | _aБиблиогр.: с.44 -49 (67 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектронная техника |
| 653 | 2 | _aосновные типы диэлектрических пленок | |
| 653 | 2 | _aзащитные пленки | |
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 710 | 2 | _aЦентральный научно-исследовательский институт "Электроника" | |
| 999 |
_c578832 _d578832 |
||