000			00920nam a2200205 a 4500
001			000644002
005			20170507094434.0
008			090319s1975 ru |||||r||||||00|0|rus d
040			_aAM, ACSTI
041	0		_arus
100	1		_aРубцов, И.Н.
245	1	0	_aСвойства маскирующих пленок в производстве фотошаблонов : _bобзоры по электронной технике / _cИ.Н. Рубцов; М-во электр. пром-сти.
260			_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1975.
300			_a62 с.
440		0	_aПолупроводниковые приборы
504			_aБиблиогр.: с. 54 - 60
650	1	4	_aПроизводство фотошаблонов
653	2		_aэлектронная техника
710	2		_aМинистерство электронной промышленности СССР
999			_c562971 _d562971