000			01563nam a2200181 a 4500
001			000629874
005			20170507092214.0
008			090206s1987 ru r 000 0 rus d
040			_aAM-YeHGA
041	0		_arus
111	2		_a"Ионно-лучевая модификация материалов", всесоюзная конференция _d(1987 : _cЧерноголовка)
245	1	0	_aВсесоюзная конференция "Ионно-лучевая модификация материалов", 23-25 июня 1987 г., Черноголовка Московской области : _bТезисы оригинальных докладов.
260			_aЧерноголовка : _bБ. и., _c1987.
300			_a279 с. : _bил. ; _c20 см.
500			_aВ надзаг.: Секция "Технология направл. обраб. поверхности" Науч. совета АН СССР "Физика, химия и механика поверхности", Секция "Ион. имплантация" Науч. совета АН СССР по пробл."Физика и химия полупроводников", Науч. совет ГКНТ по пробл. "Обраб. конструкц. материалов пучками заряж. частиц", Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
504			_aБиблиогр. в конце ст.
653	0		_aИонное легирование - Тезисы докладов
999			_c550161 _d550161