| 000 | 00903nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000622305 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426142056.0 | ||
| 008 | 070315s1969 ru r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aПатракова, А.Я. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПолучение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления : _bпо зарубежным материалам за 1966-1968 гг. / _cА.Я. Патракова. |
| 260 |
_aМосква : _bИзд-во электроника, _c1969. |
||
| 300 |
_a39 с. : _bил. |
||
| 440 | 0 |
_aОбзоры по электронной технике _vвып. 39(108) |
|
| 440 | 0 | _aТехнология и организация производства | |
| 650 | 1 | 4 | _aОкисные пленки |
| 653 | 2 | _aреактивное распыление | |
| 999 |
_c543304 _d543304 |
||