000 01035nam a2200205 u 4500
001 000074404
003 AM-YeNLA
005 20230826194234.0
008 950720s1986 ||||||||||||||||||||rus d
040 _aAM, AiYeEPHG, 99/06/19
100 1 _aСмородина, Татьяна Александровна
245 1 0 _aВхождение примесных центров в кристаллический слой полупроводника :
_b(Процессы образования монокристал. слоев для микроэлектроники) /
_cТ.А. Смородина, Н.Н. Шефталь, А.П. Цуранов ; Отв. ред. И.А. Смирнов.
260 _aЛенинград :
_bНаука. Ленингр. отд-ние,
_c1986.
300 _a173 с.
650 1 4 _aПолупроводники
700 1 _aШефталь, Николай Наумович
700 1 _aЦуранов, Александр Павлович
700 1 _aСмирнов, И.А.
_eред.
_4edt
999 _c53039
_d53039
942 _cBK