000 01118nam a2200229 a 4500
001 000599163
003 AM-YeNLA
005 20190426140726.0
008 080912s1970 ru |||||r|||||000|0|rus d
040 _aAM, ACSTI
041 0 _arus
100 1 _aДокунина, Наталия Ивановна
245 1 0 _aИзмерение толщины тонких пленок отличающихся электрофизическими свойствами /
_cН.И. Докунина; М-во электронной промышленности СССР.
260 _aМосква :
_bИн-т "Электроника",
_c1970.
300 _a31 с.
440 0 _aОбзоры по электронной технике
440 0 _aКонтрольно-измерительная аппаратура
_vВып. 7 (181)
504 _aБиблиогр. : с. 28 - 29
650 1 4 _aЭлектрофизические свойства пленок
653 1 _aполупроводниковые приборы
710 2 _aМинистерство электронной промышленности СССР
999 _c521455
_d521455