000 01365nam a2200253 a 4500
001 000596313
003 AM-YeNLA
005 20190426140437.0
008 080827s1974 ru |||||r|||||000|0|rus d
040 _aAM, ACSTI
041 _arus
100 1 _aДокучаев, Ю.П.
245 1 0 _aИспользование метода каналирования для исследования поверхностных ионнолигированных слоев в полупроводниках :
_bобзоры по электронной технике /
_cЮ.П. Докучаев, И.И. Разгуляев; М-во электронной пром-ти, ЦНИИ "Электроника".
260 _aМосква :
_bИзд-во ЦНИИ "Электроника",
_c1974.
300 _a54 с.
440 0 _aПолупроводниковые приборы
504 _aБиблиогр.: с. 49 - 53 (88 назв.)
650 1 4 _aФизика полупроводников
653 2 _aтяжелые заряженные частицы
653 2 _aрешетка кристалла
700 1 _aРазгуляев, И.И.
710 2 _aМинистерство электронной промышленности
710 2 _aЦентральный научно-исследовательский институт "Электроника"
999 _c518723
_d518723