| 000 | 01079nam a2200241 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000595847 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426140423.0 | ||
| 008 | 080825s1981 ru |||||r|||||000|0|rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aГлудкин, Олег Павлович. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aУстройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС / _cО.П. Глудкин, А.Е. Густов; Отв. ред. В.М. Пролейко. |
| 260 |
_aМосква : _bРадио и связь, _c1981. |
||
| 300 | _a112 с. | ||
| 440 | 0 |
_aМассовая библиотека инженера "Электроника" _n№ 26 |
|
| 504 | _aБиблиогр.: с. 105 - 108 (66 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектротехника |
| 653 | 2 | _aфотометрические методы | |
| 653 | 2 | _aисточники погрешностей | |
| 700 | 1 | _aГустов, Александр Евгеньевич | |
| 700 | 1 |
_aПролейко, В.М. _eред. _4edt |
|
| 999 |
_c518260 _d518260 |
||