| 000 | 01162nam a2200241 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000594002 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426140328.0 | ||
| 008 | 080804s1969 ru |||||r|||||000|0|rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aБлинов, Иван Григорьевич. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aВакуумное оборудование для нанесения тонких пленок / _cИ.Г. Блинов, Е.И. Ельчанинов, Ю.Я. Мелехин, Л.М. Панкратов; М-во электронной пром-сти СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЭлектроника, _c1969. |
||
| 300 |
_a108 с. : _bрис. |
||
| 440 | 0 |
_aСправочные материалы по электронной технике _nвып. 1 (7) |
|
| 650 | 1 | 4 | _aТонкие пленки |
| 653 | 2 | _aмикроэлектроника | |
| 700 | 1 | _aЕльчанинов, Евгений Иванович | |
| 700 | 1 | _aМелехин, Юрий Яковлевич | |
| 700 | 1 | _aПанкратов, Лев Михайлович | |
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c516487 _d516487 |
||