000 01120nam a2200241 a 4500
001 000593168
003 AM-YeNLA
005 20190426140303.0
008 080728s1968 ru |||||r|||||000|0|rus d
040 _aAM, ACSTI
041 0 _arus
100 1 _aБелановский, Александр Сергеевич.
245 1 0 _aПленки нитрида кремния :
_bОбзоры по электронной технике /
_cА.С. Белановский, Г.Д. Баранов, под ред Б.В. Малина; М-во электр. пром-сти СССР.
260 _aМосква :
_bИзд-во ин-та Электроника,
_c1968.
300 _a125 с. :
_bрис., табл.
440 0 _aПолупроводниковые приборы
_nвып. 15
504 _aБиблиогр.: с. 123 - 125 (40 назв.)
650 1 4 _aПолупроводники
653 2 _aкремния нитрида
700 1 _aБаранов, Г.Д.
700 1 _aМалин, Б.В.
_eред.
_4edt.
710 2 _aМинистерство электронной промышленности СССР
999 _c515701
_d515701