| 000 | 01110nam a2200241 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000592960 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426140257.0 | ||
| 008 | 080728s1974 ru |||||r||||||00|0|rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aБакун, А.В. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aЛегированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов : _bреферативно-аналитический обзор / _cА.В. Бакун, В.В. Щеглова; М-во электр. пром. СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1974-. |
||
| 300 | _aчасть. | ||
| 440 | 0 | _aПолупроводниковые приборы | |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 44 - 47 (41 назв.) | ||
| 505 | 0 |
_gЧ. 1 (1974, 48 с.) _gЧ. 2 (1974, 68 с.) |
|
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектронная техника |
| 653 | 2 | _aполупроводники | |
| 700 | 1 | _aЩеглова, В.В. | |
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c515502 _d515502 |
||