000 00748nam a2200205 a 4500
001 000574940
003 AM-YeNLA
005 20190426135352.0
008 080402s1975 ru |||||r|||||000|0|rus d
040 _aAM, ACSTI
041 0 _arus
100 1 _aКолобов, Николай Афанасьевич
245 1 0 _aДиффузия и окисление полупроводников /
_cН.А. Колобов, М.М. Самохвалов.
260 _aМосква :
_bМеталлургия,
_c1975.
300 _a456 с.
504 _aБиблиогр. : с. 438 - 449
650 1 4 _aТермодинамика диффузии
653 1 _aпроцесс диффузии
700 1 _aСамохвалов, Марк Маркович
999 _c498974
_d498974