000			01132nam a2200253 a 4500
001			000542563
003			AM-YeNLA
005			20240725113616.0
008			070625s2006 ru |||||||||||||||||rus c
020			_a5-94836-098-9 (В пер.)
040			_aAM-YeNLA _brus
041	0		_arus
080			_a621.38-022.53
084			_aЗ844.19-06-5,0 _2rubbk
100	1		_aНеволин, Владимир Кириллович
245	1	0	_aЗондовые нанотехнологии в электронике : _bУчебное пособие / _cВ.К. Неволин.
250			_a2-е изд., испр. и доп.
260			_aМосква : _bТехносфера, _c2006.
300			_a159 с. : _bил., табл.
440		0	_aМир электроники _vVII (25)
504			_aБиблиогр. в конце гл.
650		7	_aРадиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Оборудование
942			_2udc _cBK
999			_c469835 _d469835