000 01021nam a2200229 u 4500
001 000061176
005 20230826171225.0
008 990107s1975 ||||||||||||||||||||rus d
040 _aAM, AiYeEPHG, 19990107
245 0 0 _aАтомная диффузия в полупроводниках /
_cПод ред. Д. Шоу ; Пер. с англ. С.Н. Горина и О.В. Матвеева ; Под. ред. Г.Ф. Воронина и В.П. Зломанова.
260 _aМосква :
_bМир ,
_c1975.
300 _a684 с.
504 _aСписки лит. в конце гл.
534 _pОригинал на англ. :
_iAtomic Diffusion in Semiconductors /
_aD. Shaw-
_cLondon : Plenum Press : 1973
650 1 4 _aРадиоэлектроника
650 1 4 _aАтомы
700 1 _aГорин, С.Н.
_eпер.
_4trl
_9231113
700 1 _aМатвеев, О.В.
_eпер.
_4trl
700 1 _aВоронин, Г.Ф.
_eред.
_4edt
700 1 _aЗломанов, В.П.
_eред.
_4edt
999 _c41863
_d41863
942 _cBK