| 000 | 00751nam a2200169 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000476892 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426125241.0 | ||
| 008 | 060227s1982 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aСысоев, Валерий Васильевич | |
| 245 | 1 | 0 |
_aАвтоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства / _cВ.В. Сысоев. |
| 260 |
_aМосква : _bРадио и связь, _c1982. |
||
| 300 |
_a120 с. _bил. |
||
| 504 | _aСписок лит. с. 114-117 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектроизмерительные приборы |
| 999 |
_c410206 _d410206 |
||