000 00745nam a2200169 a 4500
001 000476111
003 AM-YeNLA
005 20190426125211.0
008 060221s1971 ||||||||||||||||||||rus d
041 0 _arus
100 1 _aМоряков, Олег Сергеевич
245 1 0 _aУстройство и наладка оборудования полупроводникового производства :
_bУчеб. пособие для проф.-техн. учебн. заведений /
_cО.С. Моряков.
260 _aМосква :
_bВысш. школа,
_c1971.
300 _a240 с.
_bил.
504 _aСписок лит. с 238
650 1 4 _aЭлектрические полупроводниковые приборы
999 _c409504
_d409504