000 00870nam a2200181 a 4500
001 000476033
003 AM-YeNLA
005 20190426125209.0
008 060221s1974 ||||||||||||||||||||rus d
041 1 _arus
_hjpn
245 0 0 _aТехнология ионного легирования /
_cПод ред. С. Намбы ; Пер. с яп. В.Ф. Овчарова ; Под ред. П.В. Павлова.
260 _aМосква :
_bСоветское радио,
_c1974.
300 _a160 с. :
_b6 табл., 100 рис.
504 _aБиблиогр. 301 назв.
650 1 4 _aЭлектронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
700 1 _aОвчаров, В.Ф.
_eпер.
_4trl
700 1 _aПавлов, П.В.
_eпер.
_4trl
_eред.
_4edt
999 _c409432
_d409432