| 000 | 00810nam a2200181 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000475730 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426125154.0 | ||
| 008 | 060220s1983 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aБорисенко, Александр Сергеевич | |
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : _bУчебное пособие / _cА.С. Борисенко, Н.И. Бавыкин. |
| 260 |
_aМосква : _bМашиностроение, _c1983. |
||
| 300 |
_a320 с. _bил. |
||
| 504 | _aСписок лит. с. 318-319 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектроника. Интегральные схемы |
| 700 | 1 | _aБавыкин, Николай Иванович | |
| 999 |
_c409134 _d409134 |
||