000 | 00567nam a2200169 a 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000475709 | ||
003 | AM-YeNLA | ||
005 | 20190426125154.0 | ||
008 | 060220s1983 ||||||||||||||||||||rus d | ||
041 | 0 | _arus | |
100 | 1 | _aРезвый, Ростислав Ростиславович | |
245 | 1 | 0 |
_aЭллипсометрия в микроэлектронике / _cР.Р. Резвый. |
260 |
_aМосква : _bРадио и связь, _c1983. |
||
300 |
_a120 с. : _bил. |
||
504 | _aСписок лит. с. 118-120 | ||
650 | 1 | 4 | _aЭлектроника |
999 |
_c409113 _d409113 |