| 000 | 01132nam a2200229 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000475644 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426125150.0 | ||
| 008 | 060218s1972 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 041 | 1 |
_arus _heng |
|
| 100 | 1 | _aБерри, Р. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aТонкопленочная технология / _cР. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; Пер. с. англ. В.И. Генкина, Е.И. Гиваргизова. |
| 260 |
_aМосква : _bЭнергия, _c1972. |
||
| 300 |
_a336 с. _bил. |
||
| 504 | _aСписок лит. с. 329-335 | ||
| 534 |
_pОригинал на англ.: _iThin Film Technology / _aRobert W. Berry, Peter M. Hall, Murray T. Harris- _cNew Jersey : D. Van Nostrand Company, Inc.: 1972 |
||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника |
| 700 | 1 |
_aХолл, П. _eавт. _4aut |
|
| 700 | 1 |
_aГаррис, М. _eавт. _4aut |
|
| 700 | 1 |
_aГенкина, В.И. _eпер. _4trl |
|
| 700 | 1 |
_aГиваргизова, Е.И. _eпер. _4trl |
|
| 999 |
_c409048 _d409048 |
||