| 000 | 01047nam a2200253 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000473207 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426125013.0 | ||
| 008 | 060203s1989 ||| r 000 0 rus d | ||
| 020 | _a5-229-00341-3 | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aЖидкофазная эпитаксия кремния / _cЛ.В. Кожитов, В.В. Липатов, А.С. Тимошин, М.П. Волков. |
| 260 |
_aМосква : _bМеталлургия, _c1989. |
||
| 300 |
_a201 с. _bил. |
||
| 500 | _aАвт. указаны на обороте тит. л. | ||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 195-201 | ||
| 653 | 0 | _aПолупроводниковые пленки - Получение | |
| 653 | 0 | _aКремний - Кристаллы - Рост | |
| 700 | 1 | _aКожитов, Лев Васильевич | |
| 700 | 1 | _aЛипатов, Владимир Владимирович. | |
| 700 | 1 | _aТимошин, Анатолий Семенович | |
| 700 | 1 | _aВолков, Михаил Петрович. | |
| 999 |
_c406687 _d406687 |
||