000 00772nam a2200181 a 4500
001 000459483
003 AM-YeNLA
005 20190426124016.0
008 051024s1968 ||||||||||||||||||||rus d
041 0 _arus
100 1 _aГаврилов, Роман Александрович
245 1 0 _aТехнология производства полупроводниковых приборов /
_cР.А. Гаврилов, А.М. Скворцов.
260 _aЛенинград :
_bЭнергия. Ленингр. отд-ние,
_c1968.
300 _a240 с. :
_bил.
504 _aСписок лит. с. 229-237
650 1 4 _aТехнология полупроводниковых приборов
700 1 _aСкворцов, Альберт Матвеевич
999 _c393542
_d393542