000 00957nam a2200193 a 4500
001 000415878
003 AM-YeNLA
005 20190426121809.0
008 050319s1979 ||||||||||||||||||||rus d
041 0 _arus
100 1 _aХарченко, Валерий Владимирович
245 1 0 _aЛегирование эпитаксиальных слоев полупроводников /
_cВ.В. Харченко, М.Р. Грейсух ; Центр. ПКТБ науч. приборостроения АН УзССР.
260 _aТашкент :
_bФан,
_c1979.
300 _a124 с.
504 _aСписок лит. с. 115-121
650 1 4 _aПолупроводники
700 1 _aГрейсух, Моисей Рувимович
710 2 _aЦентральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения АН Узбекской ССР
999 _c354599
_d354599