000 | 00957nam a2200193 a 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000415878 | ||
003 | AM-YeNLA | ||
005 | 20190426121809.0 | ||
008 | 050319s1979 ||||||||||||||||||||rus d | ||
041 | 0 | _arus | |
100 | 1 | _aХарченко, Валерий Владимирович | |
245 | 1 | 0 |
_aЛегирование эпитаксиальных слоев полупроводников / _cВ.В. Харченко, М.Р. Грейсух ; Центр. ПКТБ науч. приборостроения АН УзССР. |
260 |
_aТашкент : _bФан, _c1979. |
||
300 | _a124 с. | ||
504 | _aСписок лит. с. 115-121 | ||
650 | 1 | 4 | _aПолупроводники |
700 | 1 | _aГрейсух, Моисей Рувимович | |
710 | 2 | _aЦентральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения АН Узбекской ССР | |
999 |
_c354599 _d354599 |