| 000 | 01628nam a2200217 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000408827 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426115325.0 | ||
| 008 | 050210s1990 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 111 | 2 |
_aМеждународная конф. по микроэлектронике _n(7; _d1990; _cМинск) |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aVII Международная конференция по микроэлектронике = _bMicroelectronics,90 [16-18 окт. 1990 г.] : (Материалы конф.). |
| 246 | 1 | 5 | _aMicroelectronics,90 |
| 260 |
_aМинск : _bБ. и., _c1990. |
||
| 300 | _aт. | ||
| 505 | 1 | 0 |
_gТ. 1 (307 с.: ил.): _iМатериалы микроэлектроники. Диагностика материалов и изделий микроэлектроники, вопросы качества и безотказности элементов и схем; _gТ. 2 (277 с.: ил.): _iТехнология микроэлектроники; _gТ. 3 (183 с.: ил.): _iМоделирование приборов и технологических процессов системы автоматизированного проектирования интегральных схем |
| 550 | _aВсесоюз. НТО радиотехники, электрон. и связи им. А. С. Попова, АН СССР, АН БССР, Минский радиотехн. ин-т | ||
| 650 | 1 | 4 |
_aМикроэлектронные схемы интегральные _xМатериалы _vСборники |
| 650 | 1 | 4 |
_aМикроэлектроника _vСборники |
| 999 |
_c348042 _d348042 |
||